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헬륨 리크 디텍터
| 제조사 | ULVAC |
| 측정가스 | He |
| 최소검출 리크량 | 0.1×10-12Pa·㎥/s |
| 최대검출 리크량 | 0.1×10-3Pa·㎥/s |
| 진공배기 펌프 | 로터리 펌프 (30ℓ/min) |
| 사용가능 단위 | Pa·㎥/s, mbar·l/s, lusec, Mol/s, atm·cc/s, Torr·l/s, SCCM |
| 테스트 포트 | NW25 to 검사지그 |