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헬륨 리크 디텍터

제조사 ULVAC
측정가스 He
최소검출 리크량 0.1×10-12Pa·㎥/s
최대검출 리크량 0.1×10-3Pa·㎥/s
진공배기 펌프 로터리 펌프 (30ℓ/min)
사용가능 단위 Pa·㎥/s, mbar·l/s, lusec, Mol/s, atm·cc/s, Torr·l/s, SCCM
테스트 포트 NW25 to 검사지그